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气体工厂探秘:半导体制造气体供应原来是这样实现的
现代社会里,气体是不可或缺的一个重要组成部分。在衣食住行的各个环节,几乎都离不开气体。以芯片制造厂为例,他们在生产芯片的薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积和扩散过程中,就少不了电子气体。不同领域对气体的要求不一样,给供应商提出了极高的技术要求。在发展多年之后,全球的气体供应以四大供应商主导,分别是林德集团、法国液化空气集团、普莱克斯和空气产品企业。
2017年全球四大气体巨头营业利润及营业利润率对比(单位:亿欧元)
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气体如此重要,甚至连它们的提取、储存、运输和转充都给人带来了极大的神秘感。为了对这个产业有更多的了解,半导体行业观察记者近日走访了林德集团在中国的几家工厂,为大家揭开其神秘的面纱。
空气分离装置是根本
行内的人都知道,林德集团创始人卡尔林德的一大贡献就是发明了空气液化分离。
公开资料显示,1895年,德国人卡尔·林德研究成功了一次节流循环液化空气的方法,这是简单的深度冷冻循环。它采用节流膨胀和逆流换热,称为林德循环。1902年,德国林德企业制成了第一套林德循环单级精馏工业装置,自此开始了林德集团在气体领域的伟大征程。